СФ ФИАН
Самарский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физического института им. П.Н. Лебедева Российской академии наук
|
|
Устройства, разработанные в СФ ФИАН, предназначены для получения газовых потоков с высоким содержанием возбуждённых и химически активных молекул и атомов - атомарного кислорода, синглетного кислорода, озона, атомарного йода, атомарного хлора и других. |
|||
| В этих устройствах возбуждённые и химически активные молекулы и атомы в газах создаются с помощью самостоятельных стационарных разрядов типа тлеющего. В устройствах используются разрядные системы, обеспечивающие получение самостоятельного разряда с высокими удельными энерговкладами, например, в кислороде - до ~7 кДж/г (~2 эВ на молекулу). Повышенная стабильность разряда в различных газах, включая сильно электроотрицательные, достигается, благодаря использованию закрученного или вихревого высокоскоростного газового потока. На рисунках 1 и 2 представлены два варианта разрядных камер. |
|
|||
|
Газы, активированные в плазме
электрического разряда, могут использоваться: для обработки поверхностей различных материалов, например, пластмасс, полимерных
пленок, с целью улучшения свойств поверхности, повышения адгезионных характеристик;для испытаний стойкости материалов к агрессивному воздействию, например,
атомарными кислородом или галогенидами;для очистки воздуха от вредных примесей и загрязнений;для осаждения газов, подобных силану, на поверхности;для распыления и травления фоторезиста в производстве микросхем;для обеззараживания медицинских изделий и инструментов.
|
|||
| Одно из устройств, например, - источник атомарного йода - позволяет получать наибольшие концентрации атомов йода до ~1016см3 в потоке аргона с давлением 30 мм рт. ст. | ||||
|
Контакты: |
||||
